复旦大学国家微分析中心王家楫教授等科研人员经过3年协作攻关，在亚微米集成电路分析技术研究领域取得突破性进展。

　　“亚微米集成电路分析技术”是发展亚微米微电子技术的关键。科研人员采用了电子束、离子束、激光束和X光等近代分析技术，对亚微米集成电路所用的材料，制造工艺和器件进行几亿分之一的微量杂质的分析，目前世界上仅有少数电子工业发达的国家掌握了该技术。

　　该项目在开展亚微米集成电路剖析技术研究的同时，积极推广其中亚微米集成电路材料分析、工艺诊断和器件剖析等方面的应用，近三年共为上海硅材料厂、上海贝岭、深圳国微等20多家企业完成多项IC新产品开发和引进技术等应用项目，分析各种样品近6000个，使这些企业新增产值达7.6亿元。

     （责任编辑 大军 gejun@mei.ceic.gov.cn）